Case Tadqiqoti: kvarts shisha substratda kattalashma
Qayta ishlash ob'ekti: fotolitografiya uchun kvarts shisha substrat
Texnik xususiyatlar:
Material: 99.99% Yuqori - Tastrict Kvarts oynalari
Ishlov berish xususiyatlari: Ikki juft -} qirralik C0.2 Chamave + vertikal yon devor
Yuzaki talablar: RA <150NM (oyna sinfi)
O'lchamlari: 145 × 145 × 5,5 mm ± 0,01mm
Sanoatni qayta ishlash og'rig'i punktlarini tahlil qilish
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uskunalari, kvarts qismlari uchun kvarts qismlari uchta qat'iy standartni bir vaqtning o'zida uchratish kerakligi sababli: Moddiy pul mablag'lari, o'lchovli bag'rikenglik, o'lchovli bag'rikenglik ± 100nm. An'anaviy ishlov berish usuli ikkita asosiy sanoat muammosi bo'lgan g'ildiraklarni silliqlash jarayonidan foydalanadi:
Samaradorlik Bottleneck: bitta - Protection 120 daqiqagacha ishlaydi
Sirtning kamchiliklari: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560nm
Asbob yo'qolishi: Oddiy vosita hayoti 50 donadan kam
BukurYechimlar texnologiyalari innovatsiyalari
Kvarts materiallarining qattiq va mo'rt xususiyatlarini hisobga olgan holda, kompozitQayta ishlash eritmasiqabul qilingan:
• 20xz ultratovik aniqlik o'ymaligi va tegirmon tizimi
• Integral PCD Micro - pichoqchani kesish (qirrali r0.05mm)
• Ekli qatlami kesilgan kesish jarayoni (har bir qatlam uchun 2 mm)
O'lchovlarni qayta ishlashning afzalliklarini taqqoslash
Jarayonni tekshirish va taqqoslash orqali asosiy ko'rsatkichlar sezilarli darajada yaxshilandi:
Sanoatni jalb qilish qiymati
Ushbu echim Litografiya mashinasozlik jarayonida "Bottleneck" ni qayta ishlash muammosini muvaffaqiyatli hal qildi, kvarts substratining 50 donadan 50 donagacha, malakaviy stavkalarni 63% dan 98,5% gacha oshiradi. Zitss Lazer interferometrining aniqlanganiga ko'ra, sirtning aniqligi pv qiymati<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
HaqidaBukur
Bitsen aniqlik7500 kvadrat metr standartlashtirilgan ustaxonalar va uning xizmatlari aerokosmik, tibbiy asbob-uskunalar va boshqa sohalarni qamrab oladi. Kompleks tarkibiy qismlar va ISO tizim sertifikatini qayta ishlash qobiliyati bilan u dizayn va ishlab chiqarish bo'yicha loyihalarni ommaviy ishlab chiqarish va ishlab chiqarish bo'yicha loyiha echimlari bilan to'liq - byulletenlari bilan ta'minlaydi.
