Yarimo'tkazuvchilardan biri - EI -} imom IEM - ixtisoslashgan OEM bizga qiyinchilik bilan murojaat qildi: - yuqori -Mikrochianel sovutish plitasi6061-T6 alyuminiydan qilingan. Komponent talab qilinadi1200 mikro - teshiklari, har biriØ 0.18 mm, a bilan10: 1 nisbati - 10: 1 nisbativa± 5 mkm gacha bo'lgan holat aniqligibutun qismida.
Asosiy muammolar:
Asboblar buzilishiEkstrevativ nisbati tufayli
Saqlab turishteshik to'g'riligiuzoq burg'ulash uchun chuqurlik
Ta'minlashchip evakuatsiyamikro - teshiklarini deformatsiya qilmasdan
Oldini olishtermal buzishdoimiy burg'ulash paytida
Bularni hal qilish uchun biz foydalanamiz:
Ixtisoslashgan mikro - Muregiya vositalariichki sovutish kanallari bilan
Ko'p {{0} qadampeck burg'ulash strategiyalariDestly va Reviatsiya nazorati bilan
Ultrasonce - yordam berdichipni tozalashni ta'minlash
- jarayondaTermal barqarorlashtirishnazoratni kengaytirish uchun paslar oralig'ida
Bir nechta iteratsiya va simulyatsiya qilinganidan keyin biz a2 - burg'ulash va jarayoniBu izchil tuynuk geometriyasi va BurT {{- bepul ichki sirtlarga erishdi. Post - AU yordamida ishlov berish inspektsiyasi500 × raqamli mikroskopvaZondni skanerlash bilan smmtasdiqlangan:
Ichidagi barcha teshiklar±3 μmBardoshlik guruhi
Quyidagi sirtli pürürmyRa 0,2 mkm
Teshik -- ichidagi teshik±4 μm150 mm × 150 mm matritsa
Komponent geliy etishmovchiligi, samaradorlikni tekshirish, qayta ishlashsiz mijozning uchuvchi qurilishiga qabul qilindi.
