Yarimo'tkazgich sanoatidaMicron - Subleksiya darajasiHashamatli - bu boshlang'ich emas. Ishlatiladigan komponentlarWhats-ni boshqarish tizimlari, Eting kamzalarivaFotolitografiya vositalaritalab qilmoqO'lchamli bardoshlikko'pincha 5 mikrondan past. An'anaviy CNC ishlov berish usullari ixtisoslashtirilgan jarayonni boshqarish va metrologiyasiz bunday talablarni qondirish uchun kurashmoqda.
Muammo: Mikronlar materiatsiyasida
An'anaviy sanoat qismlaridan farqli o'laroq, yarimo'tkazgichli tarkibiy qismlar:
Saqlamoqhaddan tashqari tekislik va parallelizm
Boraniq teshiklarni tekislash va maydon
Ta'minlamoqMinimal sirt kamchiliklaribu vakuum yoki optik ko'rsatkichlarga ta'sir qilishi mumkin
Hatto ozgina og'ish quyidagilarga olib kelishi mumkin:
Valof uzatish paytida noto'g'ri xato
Fotomani proektsiyasida aniqlikni yo'qotish
Ifloslanish yoki geometrik siljish tufayli yo'qotish
Real - Dunyo namunalari: litografiya asboblari ramkalari
Bir loyihada aengil alyuminum qotishma ramkasifotolitografiya tizimi uchun,5 mkm tolizatsiyasihosil qilish uchun o'rnatilgan sirtlarda kerak edimukammal qoplamasichip naqshlari.
Bunga erishish uchun biz murojaat qildik:
5 o'qi CNC-ning issiqlik kompensatsiyasi bilan ishlov berish
Past - tebranish, yuqori - tezkor shpindelni boshqarish
Real - Vaqt o'lchovi va fikr-mulohazalari
Bunday aniqliksiz, shunchaki 10 mkm smenasi niqobni tekislashni buzishi va COMPANIYA HUQUQINI QANDAY QILIB OLDINGI OVER NAZORATI MUHIM VA MA'LUMOTNI YO'Q.
Bizning jarayonimizBitsen aniqlik
Biz yarimo'tkazgichning omolariga xizmat qilamiz:
Ultra - Oldindan CNC find va burilish (± 2 ~ 5 mkm takrorlash)
0,2 mmm yuzasiga qaraganda kam yoki unga tengTanqidiy muhrlash yoki optik zonalar uchun
Oshxona - Mos keladigan qadoqlash
CMM va LASER Skanerlash tekshiruvi
Jamoamiz buni tushunadiHar bir mikronning tanqidiyligi{{0} {R & D va yuqori - mikroavtobus logi lown ishlab chiqarish muhitiga mikroavtobusga ham xizmat qilish tajribasi bilan qo'llab-quvvatlaydi.
Nega bu muhim
Yarimo'tkazgichda ishlab chiqarishda geometriya hamma narsa. Har qanday buzilish, noto'g'ri hisoblash yoki burish quyidagilarga olib kelishi mumkin:
Naqshni buzish
Whats-ga ishlov berish xatolari
Vakuum tizimining ishlamay qolishi
Aniq ishlov berish nafaqat qattiq bardoshlik bilan bog'liq - buni ta'minlash haqidaFunktsiya va ishonchlilikKeyingi - avlod chip ishlab chiqarish uskunalari.
